11.04.19 Заводские испытания эпитаксиальных установок с индукционным нагревом
31.05.2019
Успешно завершились испытания на территории завода-изготовителя эпитаксиальных установок Эпиквар ТМ-121П и Арсил-2. Эпитаксиальные установки применяются в производстве подложек при изготовлении полупроводниковых приборов. Индукционная установка обеспечивает нагрев до 1300С графитового реактора, в котором обрабатываются заготовки подложек. Для питания индуктора установки Арсил-2 применяется транзисторный преобразователь частоты ПЕТРА-0133 мощностью 60 кВт со встроенной теплообменной станцией. Мощность преобразователя питающего индуктор установки Эпиквар ТМ-121П — 160 кВт. По завершении испытаний комплексы отгружены конечному заказчику.
https://www.nkvp-petra.ru/news/zavodskie-ispytaniya-epitaksialnyh-ustanovok-s-induktsionnym-nagrevom